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Nanolithography Breitscheidstr. 10 die diese Macht aufstelltSuccess in the fabrication of structures at the nanometer length scale has opened up a new horizon to condensed matter physics: the study of quantum phenomena in confined boxes, wires, rings, etc. A new class of electronic devices based on this physics has been proposed, with the promise of a new functionality for ultrafast and or ultradense electronic circuits. Such applications demand highly sophisticated fabrication techniques, the crucial one